作者:段振新 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1992年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ1992020040 DOC编号:DOCCGQJ1992020049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 把压敏电阻敏感元件、温度补偿电路和高电平放大器,在硅片上采用集成技术制成微型应变传感器,它有电压及频率两种形式的输出。给出了该传感器的设计、制造和测试结果。这种传感器也可以做压力传感器使用,不过在设计几何布局和制造处理上略有不同。

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