作者：纪宗南 单位：中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院 出版：《自动化仪表》1992年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDYB1992030040 DOC编号：DOCZDYB1992030049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在工业生产过程自动控制中，电容测量很重要，特别在高频情况下小电容(0.1～10pF)的测量更为重要。然而小电容的测量，往往不易测准，其测量误差主要是寄生电容造成的。为了提高测量精度，必须设计一种无寄生电容影响的电路，其实际电容传感器的结构和等效电路如图1所示。从图1可以看出，三电极电容传感器是由被测电容C_x、两电极和帘栅极之间的寄生电容C_sl和C_s2组成。三电极电容传感器的等效电路如图lb所示，图中C_p和C'_p是其它寄生电容。但是在实际测量过程中，一般寄生电容是大于被测电

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