作者：白韶红 单位：中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院 出版：《自动化仪表》1993年第02期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDYB1993020000 DOC编号：DOCZDYB1993020009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在收集大量国内外文献的基础上，综述了薄膜技术与压力传感器的发展情况，重点介绍了薄膜材料特性、工艺技术和薄膜压力传感器的结构、制作工艺和主要技术指标。

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