《声表面波压力传感器》PDF+DOC
作者:陈显萼,姚海伦,李云雷,周建国
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1992年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1992060000
DOC编号:DOCCGQJ1992060009
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论述了声表面波压力传感器的工作原理及设计方法,报导了研究结果:传感器在0~100kPa范围内具有良好的线性;其中一阶压力灵敏度为0.55×;10~(-9)/(Pa·;cm~(-2))。
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