作者：梅涛,徐新芬,戈瑜,斯培新 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1990年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1990040060 DOC编号：DOCCGQJ1990040069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文对半导体应变式传感器的非线性、温度零漂、灵敏度温度系数、蠕变等参数进行了研究，建立了电子线路综合补偿方法，并采用半导体平面工艺研制成功了小型硅应变片，与混合集成电路技术结合，使敏感元件与补偿、放大电路组合成为一体。

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