作者:严慎,马石林,张鄂 单位:上海交通大学 出版:《上海交通大学学报》1992年第04期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFSHJT1992040090 DOC编号:DOCSHJT1992040099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 本文提出一种双狭缝式光触针表面轮廓传感器,并采用激光束光学方法计算其特性及各结构参数与特性的关系.实验研究所得到的特性曲线和理论分析是一致的.本文还给出了对矩形轮廓及三角形轮廓样板的实测结果。

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