作者：李刚 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1993年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1993020000 DOC编号：DOCYBJS1993020009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 五、传感器系统综合性能指标的 容差分析、容差设计及综合优化 压力传感器的基本特性参数如灵敏度、线性度、量程和零点误差以及零点温度漂移、灵敏度温度漂移、极限断裂应力和固有频率等，都不同程度地取决于材料类型、晶向、力学结构、几何尺寸、杂质浓度、容差控制等与压阻效应、力学结构和制作工艺有关的内容。如表1所示。灵敏度取决于晶向选择、力学结构类型、几何尺寸、电阻在膜片上的位置及杂质浓度等。非线性来自压阻效应的非线性及力学结构的应力非线性。为减小压阻效应的非线性的影响，力敏电阻所

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