作者:郑伟 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1990年第05期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ1990050100 DOC编号:DOCCGQJ1990050109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 本文提出了一种硅压阻式压力传感器校准和温度补偿的新思想,根据这种思想,把压阻惠斯顿电桥同可调的多晶硅电阻电路组合在同一芯片上,本文叙谜了这种传感器的设计、制作及其测最特性。

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