作者：林海安,吴冲若 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》1993年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS1993010080 DOC编号：DOCWXJS1993010089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文回顾了气敏传感器的发展史，针对限制气敏传感器发展的诸因素，提出了解决问题的思路；指出了集成化的关键在于敏感膜的设计和制备，最后讨论了几种有前途的集成气敏传感器单元。

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