《使用对称闪耀光栅的光学四倍频微位移传感器》PDF+DOC
作者:刘春光
单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版:《光学精密工程》1992年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJM1992020100
DOC编号:DOCGXJM1992020109
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介绍了使用对称闪耀光栅的光学四倍频微位移传感器的原理、结构和其实验研究的结果。
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