作者:郑坚立,钱浚霞 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》1993年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS1993030040 DOC编号:DOCCGJS1993030049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文介绍一种由三组光纤束以同轴方式构成的光纤位移探头,采用差动补偿检测方法,可消除光源强度波动、被测表面反射率变化、光纤传输损耗变化等因素的影响.实验表明,当被测体为光亮的铝表面时,传感器在音频波段内的最小可测位移量为1.2nm/Hz~(1/2);未经校正时在3mm的测量范围内非线性误差小于3.5%;经校正后,线性度可达0.15%。

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