作者：刘继琨 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》1992年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG1992040230 DOC编号：DOCBDTG1992040239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 各种蒸发光学薄膜都存在内应力，其性质和大小直接影响光学薄膜性能与质量。因此，薄膜内应力的精确检测具有重大的实用意义。本文介绍以高灵敏度的光纤传感器为变换器，以高分辨率的 CCD 为光信号检测器的内应力检测系统，具有灵活、结构小巧、精度高、实时测量等优点，实践证明是有效的。

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