《FCG-1型仿形仪精度分析》PDF+DOC
作者:谢传钵
单位:中国科学院光电技术研究所;中国光学学会
出版:《光电工程》1990年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGDGC1990060070
DOC编号:DOCGDGC1990060079
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本文分析了FCG-1型仿形仪的静态精度,指出对静态精度有较大影响的因素是传感器的X,Y,Z三个轴的垂直度误差;阿贝误差;模指变形;温度。
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