作者：丁康源,王澄非,张中平 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1990年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1990040040 DOC编号：DOCCGJS1990040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文提出了一种利用光栅传感器检测微小位移的有效方法.利用莫尔条纹原理，采样光栅读数头的正、余弦信号输出，经运算、查表得到位移量的小步数(0.2μm/小步).借助余弦信号为正时正弦信号两次相继采样值符号的比较，得到位移量的大步数(20μm/大步).系统分辨率达0.2μm。

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