作者：梁福平 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1993年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1993060010 DOC编号：DOCYBJS1993060019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 文中介绍了扩散硅力敏传感器的核心元件硅杯的同轴度检测的几种方法。

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