《光栅尺动态测量仪》PDF+DOC
作者:刘岩,龙科慧,王立朋,季思
单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版:《光学精密工程》1993年第02期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJM1993020020
DOC编号:DOCGXJM1993020029
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阐述了利用激光差外干涉法,检查光栅尺准确度的原理,并介绍了根据这一原理而研制成的“光栅动态测量仪”的特点。该仪器在2.2m范围内的测量准确度为±;1.5μm并且在生产线上已经可靠地工作了三年。
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