作者：江跃宗,胡耀志,朱新奇 单位：国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会 出版：《功能材料》1990年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCL1990040090 DOC编号：DOCGNCL1990040099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 通过研制的磁控溅射系统，采用射频磁控溅射法，对 S_nO_2超微粒半导体气敏膜的制备进行了研究，同时对制备的薄膜的气敏性进行了测量分析。扫描电镜分析表明：当溅射气压 P_(Ar)=1.20～2.67Pa 时，就能制得超微粒半导体气敏膜。对 C_2H_5OH 的气敏性研究表明，制备的超微粒膜比普通连续膜的灵敏度有显著提高。

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