作者:高振鸾 单位:机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会 出版:《中国仪器仪表》1987年第02期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZYQB1987020130 DOC编号:DOCZYQB1987020139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 当前,传感器正向高精度、高可靠性、多功能、小型和廉价的方向发展。压力传感器是广泛用于各个领域的基本传感器之一。随着集成电路(IC)制造技术的发展,半导体压力传感器的开发非常活跃,并且已达实用化。半导体高灵敏度的应变电阻效应使压力传感器具有了高精度和高可靠性,加上超小型和低价格的特点,因而半导体压力传感器更适用于医疗、汽车及家用电器等领域。其在这些应用领域中的研究

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