作者：周鸿仁 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1986年第01期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1986010010 DOC编号：DOCCGQJ1986010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文根据现有国内外期刊资料，综合薄膜温度传感器的研制生产状态和发展动向，认为按其固有特点、优势，它有较强的竞争力。从它的结构和工艺来看，有如下特点：热响应速度快，电阻阻值范围宽，选材广泛，机械性好，精度高，体积小，重量轻，成本低。可平面化，集成化。该文介绍了国内外巳研制或生产的几种薄膜温度传感器：SiC，SnSe、MnCo、V_3O_5、Ti、Ni、Gc、Pt等，并介绍它们的工艺、结构、特点和应用。这里着重指出Pt薄膜具有线性的电阻温度关系，适合二次仪表配套，并举出它在表面测温、瞬时测温、真空内测温和一般情况下的应用。该文认为开发薄膜技术、研制和生产各类薄膜传感器，满足四化需要，意义深远，前程广阔。

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