作者:李华 单位:北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版:《仪器仪表与分析监测》1989年第01期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQYB1989010070 DOC编号:DOCYQYB1989010079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 一、前言由于硅适于制造各种传感器,这导致测量各种物理参数和化学参数的集成传感器发展很快。利用硅制造传感器的主要动机是硅器件可以进行批量生产,并且可以把传感器与信号处理电路集成在同一芯片,这就发展出所谓“智能传感器”。由于它们具备越来

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