作者：王志新,赵阳 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1989年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1989060050 DOC编号：DOCYBJS1989060059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文阐述了以合金薄膜作敏感电阻的应变式压力传感器的原理、设计方法和工艺技术、分析了各工艺参数对传感器质量的影响，通过试验，提出了一套最优工艺实现方案。研制的薄膜压力传感器性能测试结果表明：这种形式的压力传感器稳定性好，迟滞、蠕变小，是一种很有发展前途的传感器。

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