作者:柳继昌 单位:北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版:《仪器仪表与分析监测》1986年第01期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQYB1986010030 DOC编号:DOCYQYB1986010039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 一、引言所谓固态压阻传感器,即传感器的核心部分—传感元件,是一种扩散硅应变元件。该应变元件是采用集成电路的扩散工艺,把硼杂质掺入硅片而形成压敏电桥制成的。测量原理是利用压阻效应, 敏感元件受压时,电阻发生变化,输出电信号。早在1932年美国布利戈曼和阿朗就对晶体压阻效应发生兴趣,同年阿朗发表了铋单

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