作者：陈实清 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1988年第01期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1988010130 DOC编号：DOCCGQJ1988010139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本专利是关于气&#183；湿敏传感器的制造方法的说明&#183；也就是在电绝缘片上，形成一种由平均粒径是10～100多埃((?))的金属氧化物超细粒子组成的并经氧等离子作用生成活性的电阻膜。由于这活性电阻膜的电阻具有与被测气体的种类和浓度的不同而不同的特征。因此，可以用来制作检测水蒸气、气体的气。湿敏传感器。 下面，以锡这种超细粒子所形成的氧化锡膜制成的气&#183；湿敏传感器的制造方法来加以说明。

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