作者:傅敏恭 单位:中国仪器仪表学会 出版:《化学传感器》1987年第03期 页数:8页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHXCH1987030000 DOC编号:DOCHXCH1987030009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 由于半导体离子传感器(简称ISFET)容易实现微型化、集成化和多功能化,因而受到电化学、固体物理学以及生物医学界的关注。有关这种传感器的一般制作与应用在国内外已有较多的报导。同时,在研制ISFET器件时,由于MOS管的平面工艺也较成熟,因此,作为化学传感器来说,敏感膜的制作技术和膜的敏感机理就成为重要的课题,这也是本文叙述的重点。

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