作者:秦秋石,刘通 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》1987年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS1987030030 DOC编号:DOCYBJS1987030039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 一、引言 扩散硅固态压力传感器,由于体积小、重量轻、精度高、动态响应快而广泛使用于宇航、化工、气象、水文、航海和工业系统中。但是由于这种传感器是采用扩散法,在半导体衬底上做电阻,采用p-n结隔离,故

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