《在列间转移CCD图象传感器中的浅平p阱结构》PDF+DOC
作者:陆立章
单位:中国航天科工集团公司第三研究院第八三五八研究所
出版:《红外与激光工程》1987年第02期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHWYJ1987020110
DOC编号:DOCHWYJ1987020119
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本篇论文论述一种新近发展起来的、具有浅平P阱(SFPW)结构的图象传感元,进而提及使用1.69cm(2/3英寸)光学制式的490×;510元和580×;500元器件时应用这种结构的情况。在成象区里的结构由浅平P阱构成,它不仅可结合光电二极管以抑制图象起晕,而且还可结合CCD移位寄存器以减轻图象弥散,同时由于SFPW结构结合了无转移栅(TGL)结构和时钟线隔离光电二极管结构,进一步得到令人满意的特性。譬如(一)高分辨率,(二)高孔径比,(三)低弥散电平。在这里常规的n~+-P光电二极管由n~+-n~- -p结构所替代,其中n~-区的功用是作为溢流通道,将光学过载产生的过量电荷引向衬底,同时也可用来维持中波段的灵敏度。这两种图象传感器均有超出370行电视扫描线的水平分辨率,大于32%的孔径比和低于-70dB的弥散电平。
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