作者：阎军 单位：北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版：《仪器仪表与分析监测》1988年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQYB1988010070 DOC编号：DOCYQYB1988010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、引言近十几年来，微电生产方法己用于制造离子敏感器件了。至今发表的许多著作已经介绍了应用半导体工艺来研制化学敏感场效应管(CHEMFET)的问题，然而那种用于生产厚膜混合电路的薄膜沉积技术也为生产离子传感器提供了可能性。可将一种离子敏感膜直接沉积到一个混合电路基底上，而接触金属已经事先用传统的导体沉积法沉积上了(如图1所示)，同时信号控制的电子电路可用很成熟的方法制造在同一基底上。

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