作者:李正海,Richard W. 单位:中国航天科技集团公司第五研究院510研究所 出版:《真空与低温》1987年第02期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZKDW1987020080 DOC编号:DOCZKDW1987020089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《电容薄膜真空计》PDF+DOC2001年第10期 《电容式薄膜真空计》PDF+DOC1981年第05期 刘家澍,余民森,杨忠宝 《电容式薄膜真空计的研制》PDF+DOC1982年第03期 刘家澍,朱耕建,陈宗宝,余民森 《确定 LH_2两相流含气系数的解析方法和电容式两相流检测仪》PDF+DOC1989年第01期 符锡理 《HB-1型电涡流式薄膜真空计》PDF+DOC1984年第07期 沈培镛 《纳米级电容测微系统的研究》PDF+DOC2005年第11期 于永新,周涛,郑义忠 《一种电容式Al_2O_3湿度传感器》PDF+DOC2003年第05期 吴海霞,王占和,李印增 《真空计的发展概况与趋势》PDF+DOC2011年第01期 梁平,李杰,戴佳鑫,干蜀毅 《电容式微超声传感器的电极参数优化设计》PDF+DOC2010年第07期 张慧,宋光德,靳世久,官志坚,刘娟 《基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作》PDF+DOC2014年第05期 龙亮,钟少龙,吴亚明
  • 电容薄膜规能够测量的最低压力是根据规的零点不稳定度来确定的.通过对14个不同温控规的稳定性进行系统研究之后.发现大多数规的不稳定与室温变化有关.有时不同规的变化相差达三个数量级.所以强调用户在使用时估计规的稳定性是必要的.在另一种情况下.零点一周之内漂移很小.但温度变化很快时零点漂移的值偶然变大并常常出现不连续变化.观察最稳定的规是在几天之内变化小于满量程的百万分之一.面在一小时之内变化.01%.在比较高的压力下、规的读数精度是由规校准系数的长期稳定性来确定.在一年内单独校准了多次并记录了17个校准规,漂移范围在2%以内基本上没有变化.平均值是0.45%。除此之外、没有出现随时间的静态漂移.但校准之间热偶也有不规则漂移。

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