《带有频率输出的线性电容位移传感器》PDF+DOC
作者:Klaus Fritsch,阎军
单位:中国航天科技集团102所;中国航天科工集团公司二院203所
出版:《宇航计测技术》1988年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYHJJ1988020060
DOC编号:DOCYHJJ1988020069
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本文介绍一种测量光学谐振腔的反射镜间距变化的简单而又具有理想线性特性的方法。由金属反射镀层构成的电容器作为反馈环的一部分,使得振荡频率与反射镜间距成正比。在反射镜间距达0.5mm 时,满度线性度仍为0.2%,分辨率为10nm。
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