作者：刘上乾,李琨 单位：中国科学院上海技术物理研究所;中国光学学会 出版：《红外与毫米波学报》1985年第02期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWYH1985020730 DOC编号：DOCHWYH1985020739 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了一种能用于动态测量的高精度数字式测微系统。该系统采用电荷耦合线型传感器件(CCLID)作为细分元件，利用了计量光栅莫尔条纹的位移放大作用，从而大大提高了测微精度。若选用适当的元器件，其理论精度可达10~(-2)μm数量级。如果将该装置稍作变动，亦可完成对角度或速度等量的测试。各种测量结果均可实时地用数字显示。

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