作者:梁坚,王大年,朱祖福,陆章超,王惠芳,范鸿飞 单位:中国物理学会 出版:《电子显微学报》1988年第02期 页数:9页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZXV1988020100 DOC编号:DOCDZXV1988020109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 无论是透明或不透明的固体试样,热波电子显微镜均能利用试样的微观热学性质对其表面和亚表面进行无损检测和成象。本文首先对热波电子显微镜成象机理和特性进行了分析。其次,介绍了热波电子显微镜的研制,实验获得的图象与理论分析计算相符合。此外,讨论了热波电子显微镜应用的典型例子——集成电路亚表面缺陷无损检测和成象。

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