作者：高振鸾 单位：陕西鼓风机（集团）有限公司 出版：《工业仪表与自动化装置》1983年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGYZD1983040120 DOC编号：DOCGYZD1983040129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 一、引言日本日立制作所从事半导体压力传感器的研制工作已经多年，它所研制的应变仪式传感器(SG传感器)是一种硅膜片式传感器。自1978年出售以来，几经改进，精度大有提高。通过应变仪的合理配置，可将非线性误差限制在最小范围之内，精度可高达&#177；0.2％以上。但在下面两种情况下非线性误差的影响是不可忽略的：(1)压力很低。因为被测压力低，硅膜片需要做得大而薄，故受压产生变形，引起非线性误差。(2)正反两个方向受压。这种情

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