《压力传感器新工艺及其动向》PDF+DOC
作者:孙毓
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1983年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1983040040
DOC编号:DOCCGQJ1983040049
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《单晶硅微压传感器的研制》PDF+DOC1979年第04期
《基于硅硅键合技术的高精度压力传感器的研究》PDF+DOC2017年第05期 李颖,张治国,郑东明,梁峭,张哲,刘剑,祝永峰
《多晶硅应变因子计算研究》PDF+DOC 王健,江健,穆罕默德
《硅扩散型半导体传感器光刻掩模设计》PDF+DOC1992年第01期 曹洪倩
《掺杂浓度对多晶硅电阻温度系数的影响》PDF+DOC1990年第06期 石争,毛赣如
《带有微调电阻的集成型硅压力传感器》PDF+DOC1981年第06期 陈善羽
《压阻式金刚石微压力传感器》PDF+DOC2001年第01期 莘海维,张志明,沈荷生,戴永兵,万永中
《介观压阻型微压力传感器设计》PDF+DOC2009年第02期 王伟,温廷敦
《OEM压力传感器零点输出失效原因分析》PDF+DOC2009年第S1期 徐淑霞,王彤,胡竞,马文龙,常伟
《单晶硅压力传感器温度漂移的补偿方法》PDF+DOC2006年第07期 王世清,姜彤,侯占民
一、前言 硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的一种新型压力传感器。这种压阻效应早在三四十年代已被发现,但由于涉及到各种技术问题,特别是半导体工艺和集成电路工艺问题所以一直得不到发展,到了航空测试设备发展受到传感器影响时,这一问题又引起国际航空界人士的重视。此后,人们对半导体锗和硅的
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