《高灵敏度传感器用薄片压电陶瓷元件的研究》PDF+DOC
作者:王天宝,王列娥,秦俊侠
单位:国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会
出版:《功能材料》1980年第05期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGNCL1980050410
DOC编号:DOCGNCL1980050419
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制备了厚为0.1mm,用于高灵敏度传感器的压电陶瓷元件,用来测量冲击气流的压强。首先在PbTiO3-PbZrO3-Pb(Zn1/3Nb2/3)O3三元系中进行了材料研究,获得了d31值较高的陶瓷配方如下:配方代号 配方组成烧成条件 ZN45A Pb0.895Ba0.05Sr0.05(Zn1/3Nb2/3)0.30Zr0.37Ti0.33O3 1250℃/4小时 ZN64 Pb0.965La0.03(Zn1/3Nb2/3)0.30Zr0.37Ti0.33O3 1270℃/1小时 它们的主要性能列于表1 当用这两种配方试制薄片元件时,发现当瓷片厚度降至0.1mm时,元件的ε33T,Kp和d31值严重下降而不能获得高灵敏度的压电元件。为了解决薄片性能下降的问题,我们研究了瓷片的厚度、研磨、氧化、烧银和极化条件对薄片元件的压电性能的影响,获得的试验结果为:1.研磨所用磨料的粒径对薄片元件的性能影响最大。当用13μm金刚砂(称为一般细磨)和7μm刚玉粉(称为精细磨)进行研磨时,它们对ZN45A的性能影响如表2所示。从表2可知,采用粒径较细的磨料研.....。
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