作者:H.Pirot,孙耀斌 单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版:《中国检验检测》1984年第02期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFXDJL1984020140 DOC编号:DOCXDJL1984020149 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种高精度薄膜压力传感器》PDF+DOC1991年第01期 钱俞寿,陈国平,王平 《电容式薄膜真空压力传感器设计》PDF+DOC2017年第03期 王凡,崔宏敏,宗义仲,王文博 《传感器》PDF+DOC1999年第06期 《薄膜电容式压力传感器》PDF+DOC1998年第01期 闫进峰,王捷婷 《离子束溅射薄膜压力传感器》PDF+DOC1993年第02期 王洪业,安志超 《磁控溅射镱薄膜的制备及压阻特性》PDF+DOC2004年第06期 滕林,杨邦朝,杜晓松,周鸿仁 《镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件》PDF+DOC2001年第03期 王蔚,刘晓为,王喜莲,马战 《阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究》PDF+DOC2001年第01期 陶新昕,夏善红,苏杰,陈绍凤 《微型压力传感器薄膜凹槽的制造技术》PDF+DOC2009年第03期 姚瑞楠,刘玉奎,张正元 《康铜薄膜压力传感器的有限元分析》PDF+DOC2013年第15期 李琦,武文革,李学瑞,范鹏
  • 一、前言将薄膜工艺用于制作压力传感器,是当前在长时稳定且结构简单的压力传感器方面进行探索的最新成果,它能够保证以很高的精确度将机械量“压力”转换成为电信号。目前人们还只是使用隔膜的机械限值作为确定精确度的因素。不过,这意味着对薄膜结构的电性与机械特性,都有极为严格的要求。下面主要介绍

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