作者：徐清发 单位：中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院 出版：《自动化仪表》1983年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDYB1983040040 DOC编号：DOCZDYB1983040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文简要介绍了一种用集成电路工艺制造的新型电容式集成压力传感器的工作原理、设计、工艺及主要性能。这种传感器测量灵敏度比压阻式传感器约提高了一个数量级，更重要的是降低了温度灵敏度，减少了温度漂移。

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