作者：刘忠玉 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1984年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1984010100 DOC编号：DOCCGQJ1984010109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文叙述了一组小型压力传感器。这种小型压力传感器使用二氧化硅为衬底的硅应变片。硅应变片使用高掺杂，所以传感器的性能优良，工作温度为300℃。该传感器的性能可与相同尺寸的扩散型传感器相比。在封装过程中，用聚四氟乙烯导线和有机树脂可保证温度极限达300℃。

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