《硅压力传感器芯片的制造方法》PDF+DOC

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4. 《扩散硅压力传感器》PDF+DOC 扩散硅压力传感器是利用力敏器件制成的一种新型的压力传感器。由于它测量精度高，体积小，重量轻，工作可靠，频率响应快等优点，受到了人们高度重视。近几年来，正逐渐被应用到科技与生产各部门中去。扩散硅压力传感器的核心部分是力敏器件。故本文着重对力敏器件的有关问题作介绍。...
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