作者:牛德芳,周丽芳,胡静山,赵培文 单位:大连理工大学 出版:《大连理工大学学报》1980年第04期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDLLG1980040180 DOC编号:DOCDLLG1980040189 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文是在CGJY-7702型低差压硅集成压力传感器研制的基础上,结合我国的设备条件和工艺特点提出设计方案,对高稳定低差压传感器的实现,在主要工艺参数的选择上作了详细分析,并对非线性产生原因进行了讨论。

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