作者：小柳善树,王宗洪 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1984年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL1984020090 DOC编号：DOCXDJL1984020099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 1.前言目前，实用性的非接触位移计有静电电容式、涡流式、光波式和声波式。其中静电电容式非接触位移计可以用来测量导体和半导体。由于这利：测量不受导体或半导体固有性质和表面状态的影响，容易获得高精度效果，所以静电电容式非接触位移计应用相当广泛。在实际工作中，用它可以测量铁、铝和黄铜等金属，

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