作者：朱岩军,康浩,张文泉 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》1982年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX1982020110 DOC编号：DOCZKKX1982020119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 半导体器件生产，在真空测量仪器方面，多配置热偶和电离规管作传感器的复合真空计，热阻真空计和磁场放电真空计亦有应用。根据工厂生产的特点：仪器用量大，连续开机时间长，所以仪器易损率大，就地及时维修和校正工作是很重要的现实问题。工厂本身也应定期或不定期作维护性粗校。现主要以北京真空仪表厂生产的Fzh-1型复合真空计为例，简要介绍我厂的使用和维修经验。

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