作者：王兰萍,胡宾,张红,王国文 单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《中国激光》1982年第05期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJJZZ1982051240 DOC编号：DOCJJZZ1982051249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 由于在激光光声探测中用电容微音器或驻极体微音器不易完全隔离周围的振动和噪声的干扰，我们尝试在激光光声装置中以微气流敏感器代替微音器，试验取得了满意的结果。 微气流敏感器是用镍箔光刻腐蚀制成的，它是一个栅状电阻，条宽15微米，条间隔为30微米，共40条连成，电阻值为60欧姆左右，载体为中心打一小孔(直径1.6毫米)的玻璃片。 当机械斩波的选频CO_2激光束穿过装有上述元件的样品池时，如果池中气体吸收部分激光能量，则元件一侧的气体压强周期性地升高，引起镍栅中向另一侧的周期性微气流。在电回

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