作者： 单位：上海市电子学会;上海市通信学会 出版：《》 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJS1966080180 DOC编号：DOCDZJS1966080189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了提高产品质量，对生产设备加工精密度要求愈来愈高.因此，过去一般测微仪已不能适应要求，我们制作了一个半导体微距测量仪，经实验证实它不受仪器本身机械结构精度的限制，又可广泛应用在多种工业生产方面，目前最高测距精度可直读到10~(-7)米。

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