作者: 单位:中国科学院化学研究所;中国化学会 出版:《》 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHXTB1978030030 DOC编号:DOCHXTB1978030039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 随着电子技术及半导体工业的迅速发展,出现了许多记录电子束的材料。除卤化银材料外,还有光刻胶,热塑材料,液晶等。卤化银材料与光刻胶虽有较高的灵敏度及分辨力,但需要湿法显影、定影,暗室操作,使用不方便。液晶虽手续简单,能及时显示,但分辨力低。且不能贮存图像。热塑材料虽能实时显示和记录图像,但需要比较复杂的纹影光学系统,对记录材料的光学质量要求很高,难于达到。近年来我们研制的酸敏变色片则具有多种优点。它具有较高的灵敏度,达7.2×10~(-3)焦耳/cm~2,分辨力不低于500线对/mm,无

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