作者：沈松,陈辉,李旭杰 单位：中国计量科学研究院 出版：《计量科学与技术》2017年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLJS2017120120 DOC编号：DOCJLJS2017120129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对于由地面微振引起的激光干涉仪测量误差问题，本文提出了一种基于地面微振精确测量误差校正方法。在常规地面环境下，使用高动态拾振器和4阶delta-sigma的ADC进行微振信号测量，并应用高精度积分算法和传感器频响反演计算，获得纳米级测量误差的微振数据，作为光测仪器的固定反光镜的位移，补偿到系统测量数据的计算中。

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