作者：王娟,徐淑静,徐爱东 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2006年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2006080090 DOC编号：DOCBDTQ2006080099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了微机械热对流倾角仪的工作原理和结构设计，利用有限元分析软件，计算了在不同倾斜状态下二维密闭腔中点热源引起的对流场和温度场，提出了环境温度对热对流倾角仪影响的模型。根据仿真结果，在电路中增加了加热丝恒定温度控制电路，建立了基于软件的环境温度补偿算法，实现了对温度影响的补偿。经测试，环境温度从-40℃变化到60℃时，倾角仪0&#176；输入的温度稳定性为0.07&#176；，10&#176；输入的温度稳定性为0.02&#176；。

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