作者：黄立基,范德林 单位：中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院 出版：《自动化仪表》2006年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDYB2006070020 DOC编号：DOCZDYB2006070029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了多参量MEMS气体质量流量计的原理、性能和应用。该流量计采用MEMS流量芯片作为一次传感的核心部件，并配以专门的低功耗二次智能仪表，具有超大量程、微功耗、无压损、小流量灵敏、响应时间快及易于远传和网络化管理等优点，相信该流量计会有很广阔的应用前景。

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