作者：薛伟,王权,丁建宁,杨继昌 单位：中国农业机械学会;中国农业机械化科学研究院 出版：《农业机械学报》2006年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNYJX2006070490 DOC编号：DOCNYJX2006070499 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 机械表式检测装置满足不了内燃机气缸爆发压力和压缩压力在高温、高压脉动气体冲击和有机械振动的环境下检测的使用要求。采用以SIMOX技术制备的SOI晶片，在微加工平台上制作了传感器硅芯片，通过耐高温封装工艺和在宽温区进行温度热漂移的补偿，制作了高精度、稳定性佳的耐高温压阻式压力传感器，配置放大电路后的内燃机气缸压力智能检测仪保证了测试结果的科学性、真实性和合理性。

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