作者：冯丽爽,刘惠兰,林恒,张春熹 单位：北京航空航天大学 出版：《北京航空航天大学学报》2006年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBJHK2006060150 DOC编号：DOCBJHK2006060159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种闭环反馈差动式双FP腔的微光机电(MOEMS)加速度计，介绍了其工作原理及系统构成.利用惯性敏感单元将对载体加速度的测量转变为对载体位移的测量，利用光纤自聚焦透镜的端面与质量块组成的FP腔测量载体位移.为了提高系统的测量灵敏度和抑制温度等环境因素的影响，设计了一种差动式双FP腔测量机构.为提高微加速度计的输出线性度和动态测量范围，提出了采用静电力平衡技术构成闭环加速度计.建立了其数学模型，对所设计的加速度计重要参数指标———灵敏度、敏感头受载、固有频率等一一进行了详细计算和分析.在此基础上完成了设计背景要求下加速度计参数的优化设计，结果表明：该系统精度可以达到5&#215；10-6g以上。

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