作者:潘安宝,闻化,姚东媛,高成臣,谢树海 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2008年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2008010290 DOC编号:DOCCGQJ2008010299 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制,采用石英晶体材料制做弹性膜片,用音叉式石英力敏谐振器检测压力,减少了传感器的体积,降低了制造工艺难度。研制的传感器量程为0~120 kPa,中心频率为(40±4)kHz,精度为0.05%。

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